自動(dòng)300mm晶圓搬送機(jī)
AL120-12晶圓搬送機(jī)對(duì)應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。
**且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和**。
堅(jiān)固、可靠和**傳送 ? 延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和**性，能夠**可靠的傳送300 mm晶圓。 ? 薄片，Warped晶圓皆能**搬送。 ? 宏觀觀察位置的*優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作舒適性。
AL120-12 晶圓搬送機(jī)規(guī)格：